海关编码 | 商品名称 | 商品描述 | 操作 |
8414100010 | 耐腐蚀真空泵 | 耐腐蚀真空泵(流量大于5m3/h,接触表面由特殊耐腐蚀材料制成) | 详情定位 |
8414100020 | 真空泵 | 真空泵(抽气口≥38cm,速度≥15m^3/s,产生<10^-4托极限真空度) | 详情定位 |
8414100030 | 能在含UF6气氛中使用的真空泵(用耐UF6腐蚀的材料制成或保护。这些泵可以是旋转式和正压式,可有排代式密封和碳氟化合物密封并且可以有特殊工作流体存在) | 能在含UF6气氛中使用的真空泵(用铝、镍或含镍高于60%的合金制成或为衬里的) | 详情定位 |
8414100040 | 专门设计或制造的抽气能力≥5m3/min的真空泵 | 专门设计或制造的抽气能力≥5m3/min的真空泵(专用于同位素气体扩散浓缩) | 详情定位 |
8414100050 | 能在含UF6气氛中使用的真空泵(耐UF6腐蚀的,也可用碳氟密封和特殊工作流体) | 能在含UF6气氛中使用的真空泵(耐UF6腐蚀的,也可用氟碳密封和特殊工作流体) | 详情定位 |
8414100060 | 专门或主要用于半导体晶圆或平板显示屏制造的真空泵 | 专门或主要用于半导体晶圆或平板显示屏制造的真空泵 | 详情定位 |
8414100090 | 其他真空泵 | 其他真空泵 | 详情定位 |
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